TH510系列半导体C-V特性分析仪是常州同惠电子根据当前半导体功率器件发展趋势，针对半导体材料及功率器件设计的分析仪器。
仪器采用了一体化集成设计，二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体功率器件寄生电容、CV特性可一键测试，无需频繁切换接线及设置参数，单管功率器件及模组功率器件均可一键快速测试，适用于生产线快速测试、自动化集成。
CV曲线扫描分析能力亦能满足实验室对半导体材料及功率器件的研发及分析。
仪器设计频率为1kHz-2MHz，VGS电压可达±40V，VDS电压可达±200V/±1500V/±3000V，足以满足大多数功率器件测试。
- 技术参数
-
产品型号
TH511
TH512
TH513
通道数
2（可选配4/6通道）
1
显示
显示器
10.1英寸(对角线)电容触摸屏
比例
16:9
分辨率
1280×RGB×800
测量参数
Ciss、Coss、Crss、Rg，四参数任意选择
测试频率
范围
1kHz-2MHz
精度
0.01%
分辨率
10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz 100.000kHz-999.999kHz
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz
测试电平
电压范围
5mVrms-2Vrms
准确度
±（10%×设定值+2mV）
分辨率
1mVrms 5mVrms-1Vrms
10mVrms 1Vrms-2Vrms
VGS电压
范围
0 - ±40V
准确度
1%×设定电压+8mV
分辨率
1mV 0V - ±10V
10mV ±10V -±40V
VDS电压
范围
0 - ±200V
0 - ±1500V
0 - ±3000V
准确度
1%×设定电压+100mV
输出阻抗
100Ω，±2%@1kHz
数学 运算
与标称值的**偏差Δ，与标称值的百分比偏差Δ%
校准功能
开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD
测量平均
1-255次
AD转换时间（ms/次）
快速+：0.56ms(＞5kHz) 快速：3.3ms 中速：90ms 慢速：220ms
*高准确度
0.5%（具体参考说明书）
Ciss、Coss、Crss
0.00001pF - 9.99999F
Rg
0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ%
±（0.000% - 999.9%）
多功能参数列表扫描
点数
50点，每个点可设置平均数，每个点可单独分选
参数
测试频率、Vg、Vd、通道
触发模式
顺序SEQ：当一次触发后，在所有扫描点测量，/EOM/INDEX只输出一次
步进STEP：每次触发执行一个扫描点测量，每点均输出/EOM/INDEX，但列表扫描比较器结果只在*后的/EOM才输出
图形扫描
扫描点数
任意点可选，*多1001点
结果显示
同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线
显示范围
实时自动、锁定
坐标标尺
对数、线性
扫描参数触发方式
Vg、Vd
单次
手动触发一次，从起点到终点一次扫描完成，下个触发信号启动新一次扫描
连续
从起点到终点无限次循环扫描
结果保存
图形、文件
- 附件
| 标配 | |||||
| 配件名称 | 型号 | ||||
| 测试夹具 | TH26063B | ||||
| 测试夹具 | TH26063C | ||||
| TH510夹具控制连接电缆 | TH26063D | ||||
| TH510测试延长线 | TH26063G | ||||